一种基于二次模板匹配的晶圆对准方法

摘要：

介绍了在二极管探针台测试晶圆过程中一种晶圆自动对准方法.在承片台上放置晶固后,首先利用一次模板匹配实现对晶圆偏转角度的调整;然后,晶圆上的特征点移至CCD视场范围内,对初始特征点进行二次模板匹配,再将晶圆上的测试起点移至测试探针下方完成对准工作.

关键词：模板匹配、自动对准、晶圆、探针台、图像识别、机器视觉

所属期刊栏目：30

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2017-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：141-143