集成式氦质谱检漏装置的研制

摘要：

真空多层绝热管道漏率是否满足要求,直接关系到管道的真空寿命.传统检漏系统包含设备多、体积大、重量大,移动困难,论文研制出一种集成式氦质谱检漏装置,适合在检漏工序不可或缺但是检漏工作量较小的现场安装环境.

关键词：真空多层绝热管道、氦质谱检漏、集成式

所属期刊栏目：29

分类号：TP23(自动化技术及设备)

在线出版日期：2016-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：94-95