光栅副间隙动态测量设备的设计

摘要：

基于光学测量和图像处理,设计了一种用于测量光栅尺读数头装配过程中指示光栅装配时光栅副间隙的设备.试验测量结果表明,设备测量结果可靠,全区间测量误差＜5％,使用区间测量误差＜3％.为光栅副装配中间隙测量提供了可靠的测量方法和设备.

关键词：光栅尺、光栅副、间隙测量

所属期刊栏目：28

分类号：TH71(仪器、仪表)

资助基金：国家重大科技专项2013ZX04007-021;长春市科技计划项目高集成化单码道绝对式光栅尺研发-2013254

在线出版日期：2015-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28