绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计

摘要：

简述了绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计方案.针对曝光光源均匀性、图案畸变、精确放大倍率等难点问题,设计了刻划装置的专业装调方案.同时利用刻划装置的物理样机进行曝光加工,得到了满足设计要求的母光栅码道图案.

关键词：绝对式光栅尺、母尺光栅、刻划装置、曝光光源

所属期刊栏目：27

分类号：TG68

资助基金：国家科技重大专项2013ZX04007021

在线出版日期：2014-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：108-109,79