基于SPM的纳米加工技术研究

摘要：

扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.论文主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的机理、特点及研究进展动向.

关键词：扫描探针显微镜、纳米加工、阳极氧化法、机械刻蚀

所属期刊栏目：27

分类号：TG68

在线出版日期：2014-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：102-104