大直径太阳能硅片高效低损耗线切割技术研究

摘要：

随着太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,大尺寸超薄硅片多线切割技术的发展趋势将日益明显.传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和高效率的要求.本文对硅片切割方法、游离磨料多线切割基本原理、线切割硅片材料去除机理以及切割工艺因素进行了综述.

关键词：太阳能硅片、大直径、游离磨料多线切割、高效

所属期刊栏目：25

分类号：TG68

资助基金：浙江省大学生科技创新活动计划2011R427011

在线出版日期：2013-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：171-173