微压力接触式台阶仪的结构设计与实验研究

摘要：

介绍了一种基于光电检测原理的高精度接触式二维轮廓检测仪.该仪器将CCD成像检测技术与接触式检测技术有机的结合起来,通过狭缝成像方式代替进口容栅和磁栅,实现对工件的高精度尺寸检测,具有接触压力小,成本低等优点.实验测得,仪器最小分辨率为1μm,多次测量重复精度为±5μm.

关键词：光电检测、狭缝成像、接触压力

所属期刊栏目：25

分类号：TP27(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：74-76