双作用气缸在单晶炉中的应用

摘要：

介绍了单晶炉的主要机械结构以及气缸的基本知识,根据目前单晶炉设备所需要的自动化程度的不断提高,介绍了双作用气缸在单晶炉中翻板隔离阀处阀盖开、关机构上的应用.

关键词：单晶炉、阀盖、气缸

所属期刊栏目：25

分类号：TP27(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2009ZX02011

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-39,56