基于着色时间Petri网的多组合设备建模技术研究

摘要：

模块化组合设备(cluser tool)是晶圆制造过程中的一种典型的集成化设备,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定.针对这一特点,研究了多组合设备(Multi-cluster tool)系统的Petri网建模问题.本文对晶圆加工多组合设备的加工流程进行了分析,提出了一种多组合设备系统的分解方法,并构建了多组合设备系统的着色时间Petri网模型.

关键词：多组合设备、着色时间Petri网、晶圆加工、建模

所属期刊栏目：23

分类号：TP29(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：85-87