基于线阵CCD的微位移测量系统设计

摘要：

提出了一种新的微位移测量的方法,该方法采用多次反射光学放大法时微小住移进行放大,用线阵CCD实现对物体位移前后光斑位置的采集.通过计算机将数据处理即可得到微小位移量.理论分析表明.该方案的测量精度可以达到2.8nm.

关键词：微位移、光学放大、线阵CCD、高斯滤波

所属期刊栏目：22

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2010-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：156-157,145