微细加工技术的原理和应用研究

摘要：

伴随着微机械和微机电系统的发展.微细加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术,本文分析了微细加工的技术原理,指出了微细加工的应用和最新的发展及应用情况.

关键词：微细加工、微机械、自动化

所属期刊栏目：21

分类号：TG68

在线出版日期：2008-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：191-192