梳齿式微加速度计优化设计与仿真分析

摘要：

给出了多学科层级优化算法模型,对梳齿式微加速度计的结构参数进行了优化设计,对优化前后的梳齿式微加速度计进行了有限元仿真分析.优化设计结果表明,微加速度计的工作性能有明显提高.有限元仿真分析结果验证了多学科层级设计优化方法的有效性.

关键词：多学科设计优化、层级优化、梳齿式、微加速度计、有限元分析(FEA)

所属期刊栏目：20

分类号：TH122

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：31-33