微机电系统的尺度效应及其影响

摘要：

评述了MEMS系统中,尺度效应对材料性能、器件的机械特性、流体系统以及摩擦和粘附等方面的影响,微尺度效应是在微机电系统的设计过程必须考虑的问题,也是MEMS产品从实验室走向市场化商品的关键理论基础.

关键词：尺度效应、微机电系统

所属期刊栏目：18

分类号：TH-39

资助基金：福州大学校科研和教改项目2004-XY-10

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30