腔体数量对压电装置性能的影响

摘要：

为确定腔体数量对压电泵和压电液压驱动器性能的影响,制作双腔至九腔串联压电装置并进行试验.结果表明:压电泵的输出随腔体数量增加而提升.压电泵的输出流量以腔数5个为界限,输出压力以腔数6个分界.腔数低于此数时,每增加一个腔室,二者均提升显著,流量最大可提升2.42倍,压力最大可提升1.96倍;腔数高于此数时,提升幅度较低.压电液压驱动器的输出速度/输出推力以腔体数量5为界,低于此数时,驱动器输出随腔数增加提升的幅度大;腔数在5以上时,提高幅度变小,但增量基本一致.驱动器负载时,随着腔数增加,输出能力和负载能力也逐渐提高.且在260 Hz、腔体数量高于5、负载低于15 N时,二者近似成正比.

关键词：腔体数量、压电泵、压电液压驱动器

所属期刊栏目：51

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：吉林省教育厅科学技术研究项目;长春工程学院学校科技基金项目;吉林省创新创业人才资助项目

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66