10.3969/j.issn.1001-3881.2020.20.021
基于PLC的微焦点X射线源控制系统设计
X射线显微分析技术利用X射线的穿透能力,结合精密定位和数据反演技术,可以在微米甚至亚微米尺度上展现被测样品的内部结构、密度和缺陷等特征信息.该技术已然成为一种重要的物理分析方式,且被广泛应用于生命科学、材料学和先进制造等领域.微焦点X射线源是X射线显微分析系统的核心部件之一,其性能直接影响着系统的测试分辨率和效率.针对微焦点X射线源使用中安全防护升级、工作效率提升、控制精度提高的需求,设计一套基于PLC的微焦点X射线源控制系统,并介绍该系统具体的实现过程.采用JIMA分辨测试卡进行分辨率成像实验,实现了3μm线对的分辨率,证实了该控制系统性能良好,能够满足使用需求.
PLC控制系统设计、微焦点X射线源、微焦点成像
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TP24(自动化技术及设备)
国家重大科学仪器设备开发专项项目;中国科学院关键技术研发团队项目
2021-01-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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