S型折叠式微悬臂梁刚度仿真与测试

摘要：

为弥补现有测试微悬臂梁刚度方法中存在的不足,采用准LIGA工艺加工了一种S型折叠式微悬臂梁,对其x向和y向的刚度进行了仿真;采用自行设计并制作的刚度测试系统对该微悬臂梁进行了测试,测试结果与仿真结果的相对误差低于2％.研究结果表明:利用所设计的测试系统测试微悬臂梁刚度具有较高的准确性,为微悬臂梁进一步的优化设计和工艺改进提供了一种有效的分析手段.

关键词：准LIGA工艺、微悬臂梁、刚度、测试系统

所属期刊栏目：48

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：辽宁省自然科学基金指导计划20170540791

在线出版日期：2020-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：158-161