超白玻璃微型阵列孔在电化学放电加工中的气膜稳定性研究

摘要：

近年来,随着超白玻璃等非导电硬质材料在微机电系统结构件中的广泛应用,给具有这种材料的异形结构产品加工带来了诸多困难.通过分析超白玻璃在电化学放电加工过程中的极间气膜产生原理,研究不同电源参数组合下的气膜击穿特性,并通过进一步分析气膜稳定性条件下不同工艺参数组合作用的成形质量与材料去除率间的关系,成功实现了超白玻璃微型阵列孔的最优工艺参数选择及加工.

关键词：电化学放电加工、超白玻璃微型阵列孔、气膜

所属期刊栏目：48

分类号：V261.5(航空制造工艺)

资助基金：国家自然科学基金青年科学基金项目;陕西省教育厅重点实验室项目;2017年陕西省特种加工重点实验室项目

在线出版日期：2020-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：6-12