热柱毛细芯中铜纤维和微沟槽黏附力的研究

摘要：

通过多齿铣削和高温烧结制造了微沟槽烧结铜纤维板,通过超声波振动实验测试了烧结参数和铜纤维参数对复合毛细芯中铜纤维和微沟槽壁面黏附力的影响,结果表明:烧结时间、烧结温度、温度上升速率、烧结压力以及纤维参数对热柱复合毛细芯中的铜纤维和微沟槽壁面的黏附力有重要的影响.当烧结温度为900摄氏度,烧结时间60 min,烧结压力为0.45 MPa,温度上升速率为5℃/s下烧结的烧结层厚度为1 mm时的复合毛细芯中的铜纤维和微沟槽壁面的黏附力最大.

关键词：热柱、微沟槽、铜纤维、黏附力

所属期刊栏目：48

分类号：TN305.94;TG506(半导体技术)

资助基金：广州市科技计划资助项目;广东省高校专项创新计划资助项目;广东省大学生科技创新培养专项资金资助项目;“攀登计划”专项资金资助项目;Guangzhou Science and Technology Project;Special Innovation Projects of Universities in Guangdong Province;Special Funds for the Cultivation of Guangdong College Students'Scientific and Technological Innovation;"Climbing Program" Special Funds

在线出版日期：2020-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：97-102