国外研发超高灵敏度MEMS加速度传感器

摘要：

东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构, 成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS (微机电系统) 加速度传感器, 实现了1微 (μ) G级 ( G=9. 8 m/s2 , 重力加速度) 的高分辨率检测.

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在线出版日期：2019-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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