负压式气浮平台供气压力的研究

摘要：

液晶平板在线检测过程中,使用负压式气浮系统的稳定性更高,为了比较负压的大小对气膜稳定性、 供气参数、 质量流量的影响,运用气体润滑理论,对气浮平台的单个节流孔进行理论分析,得到气膜平面的压力分布规律.建立正负压节流孔间隔排布的通孔阵列模型,通过Gambit建立模型并划分网格,对模型提供不同的负压,导入Fluent进行数值计算,得到各种情况下通孔阵列和阵列中心的压力、 速度分布曲线.比较得到负压为-2 kPa时,气膜稳定性更好.分析不同负压所需与之匹配的正压,得到对同一支承物,气膜厚度不变的情况下,正压随负压的变化规律.最后从稳定性和经济性因素出发,得到玻璃光学检测仪器的气浮支承平台的供气参数.

关键词：负压式气浮平台、Fluent仿真、静态特性、质量流量

所属期刊栏目：46

分类号：TH122

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目2013YQ220749

在线出版日期：2019-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：105-109