工艺参数对单晶硅超精密加工切削力的影响

摘要：

为了了解单晶硅超精密车削过程中不同切削参数及刀具前角对切削力的影响,利用单晶金刚石车刀对单晶硅进行单因素变量超精密车削试验.试验结果表明:进给量f和切削深度ap对X、Y、Z方向的切削力F均有增大的趋势;而在切削速度vc增加时,各方向的F逐渐减小;切削前角减小时,切削力反而增大.通过各因素对切削力F的变化幅值可以得到,对F影响较大的参数为ap及f.选取最佳组合参数对单晶硅进行超精密切削试验,得到极为光滑的表面.

关键词：单晶硅、超精密切削、切削参数、切削前角、切削力

所属期刊栏目：45

分类号：TH161

资助基金：航空科学基金资助项目 2013 ZE54002

在线出版日期：2017-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-48,56