分子泵用小型电机试验平台的设计

摘要：

为便于测试研制分子泵用小型电机的特性,设计一套专用的试验平台.因为被测电机运行转速高(>20 000 r/min),且需置于真空环境(<100 Pa),设计了高精度的定位基准、模拟实际运行环境的小型真空室、模拟电机实际负载惯量的惯量盘以及其他便于试验的装置.已经使用该试验平台开展了针对研制电机的性能测试.

关键词：分子泵用小型电机、定位基准、真空室、惯量盘、性能测试

所属期刊栏目：45

分类号：TH-122

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ130429

在线出版日期：2017-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9