精密气浮工作台动态特性仿真与优化

摘要：

为提高精密气浮工作台的工作性能，在分析气浮轴承承载特性的基础上，对气浮工作台进行多体动力学建模与仿真。参数化多体动力学模型，创建模型的设计变量与目标变量，编写目标变量评价程序，使用Isight集成了优化仿真模型，优化了设计变量，提高了工作台的稳定性，缩短了工作台的收敛时间。优化结果表明：对工作台的优化设计改善了工作台的稳定性，减小了工作台在步进扫描过程中的收敛时间与振幅。

关键词：精密气浮工作台、动态特性、参数优化

所属期刊栏目：45

分类号：TP391.72(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2017-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24