角位移传感器膜电阻全自动激光修刻系统试验研究

摘要：

导电塑料角位移传感器中的膜电阻是其核心结构，直接影响传感器的各种输出性能，必须依靠修刻才能满足要求。激光修刻技术是近几年出现的膜电阻修刻新技术，利用了激光微加工精准、非接触并快速的优势，能达到非常高的修刻精度和效率。激光修刻系统主要由带自动调焦激光器、工件自动装卸机构、回转修刻台、阻值在线检测电路和工控机等组成。膜电阻修刻算法是实现快速高精度修刻的关键，依据离散逼近修正理论，通过采用反馈电压算法实现系统的自动修刻控制，试验结果表明：激光修刻系统能达到0．1%的电阻修刻精度和3 min/个的修刻速度。

关键词：角位移传感器、膜电阻、激光修刻系统、离散逼近修正理论、反馈电压算法

所属期刊栏目：44

分类号：TG665

资助基金：湖州市2014年度公益性技术应用研究重点2014GZ01

在线出版日期：2016-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-39,47