基于时序驱动的静态光场式时栅传感方法研究

摘要：

提出了一种用时序驱动光敏元构成匀速扫描坐标系的方法,实现了将被测物体空间位移的测量转换为对时间差的测量.根据时栅相对运动双坐标系的转换原理,将线阵CCD的光敏元视为匀速扫描坐标系,两个空间上并排,时序上互相错开的线阵CCD为静止坐标系,则同一被测对象在两个CCD上输出电信号的时间差的变化量与扫描速度的乘积,即为所测位移的大小,并可以判断位移的方向.用雷尼绍激光干涉仪对所研制的CCD时栅传感器进行校准,在有效测量范围(600.05 mm)内,经过修正后的测量误差控制在±2μm以内,实现了在光学领域应用时间测量空间的思想.

关键词：位移测量、时栅位移传感器、CCD位移传感器、时序驱动

所属期刊栏目：43

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：This paper is supported by National Natural Science Foundation of China51127001,51475063;National Natural Science Foundation of ChongqingCST2012JJA40062

在线出版日期：2016-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79