超精密静压支承部件及其在超精密加工机床的应用

摘要：

超精密加工技术与装备在近年得到极大发展. 超精密静压部件是超精密加工装备关键共性部件. 以平面气体静压支承为例, 介绍了静压支承基本工作原理. 对超精密液体/气体静压主轴、 导轨和转台的结构特点、 技术特性、 应用场合作了较全面的介绍; 以典型超精密加工机床为例, 介绍静精密静压主轴、 导轨和转台在超精密加工机床中的应用.

关键词：静压支承、超精密静压部件、超精密加工机床、应用

所属期刊栏目：43

分类号：TG502(金属切削加工及机床)

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重点资助项目 K855, K856

在线出版日期：2016-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-6,24