基于 Cortex-M4的环面蜗杆检测仪的全闭环控制系统

摘要：

针对环面蜗杆检测仪系统控制及定位精度的需要，采用 Cortex-M4作为主控制器，控制步进电机驱动载物台运动，步进电机采用闭环控制。光栅尺实时检测 XYZ 导轨的位置信息，并把光栅信号作为反馈信号，构成闭环运动控制系统，实现坐标系中 XYZ 轴的运动和时栅转台旋转的高精度定位。步进电机的驱动采用软硬件细分方法，克服了步进电机爬行和丢步现象。实验表明：该系统采用全闭环控制、步进电机软硬件细分方法，实现了三坐标轴±2μm 的精密定位，保证了环面蜗杆检测仪的准确测量。

关键词：环面蜗杆、光栅尺、全闭环控制、软硬件细分

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

在线出版日期：2015-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：118-121