加工参数对热柱冷凝端微沟槽形貌的影响

摘要：

热柱冷凝端的表面结构对其传热性能的影响起着至关重要的作用，粗糙的微沟槽表面形貌有利于强化冷凝。提出了热柱冷凝端表面加工微沟槽的实验加工方法，建立了犁切挤压刀具加工热柱冷凝端的有限元模型。利用 deform 软件模拟犁切挤压刀具加工热柱冷凝端微沟槽，分析了微沟槽的成形过程及机理。有限元模拟结果表明：在加工环状沟槽时冷凝端表面形成了 V 形沟槽，两 V 形沟槽之间形成 U 形沟槽，V 形沟槽两端有鼓包，形成沟槽翅。在轴向沟槽加工时，表面形成了相互正交的微沟槽，呈现许多 U 形微沟槽。进给量和犁切挤压深度对热柱冷凝端微沟槽形貌起着重要作用，犁切挤压深度越大，微沟槽表面形貌越粗糙，但是受刀具强度和刚度的影响，犁切挤压深度不能过大。进给量过大和过小，都不利于微沟槽表面形貌，只有当进给量恰当，才能形成最优的微沟槽表面形貌。

关键词：热柱、沟槽形貌、犁切挤压、有限元模拟

分类号：TN305.94;TG506(半导体技术)

资助基金：This work is financially supported by Natural Sci-ence Foundation of Guangdong Province，ChinaS2013040013066;the 2014 annual university out-standing young teachers training plan of Guangdong Province．

在线出版日期：2015-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：112-117