超精密定位工作台静压导轨静态特性及流场仿真分析

摘要：

研究超精密液体静压定位工作台中的液体静压导轨静态特性问题.根据流体润滑理论及雷诺方程,构建了导轨油膜压力的数学物理模型,运用有限元方法求解静压导轨的各项静态特性参数,如导轨的承载能力、静刚度、流量等.运用三维造型软件SolidWorks和CFD软件FLUENT,从结构三维造型设计和内部三维流动综合分析液体静压导轨,获得油膜压力的分布云图、曲线和油腔液压油流速分布云图,并分析不同结构设计参数和环境参数对液体静压导轨静态特性的影响.本文研究将对实际的静压导轨系统设计具有指导意义.

关键词：液体静压导轨、FLUENT、油膜、静态特性

所属期刊栏目：43

分类号：TH161+.4;TG584

资助基金：广东省微纳加工技术与装备重点实验室2011A060901021;产学研项目2012B091000082;高等学校博士学科点专项科研基金20114420110001;企业科技特派员工作站建设项目2011B090600007

在线出版日期：2015-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：46-50