直线式时栅位移传感器的动态测量与频谱分析

摘要：

针对直线式时栅位移传感器的结构特点，提出了动态测量的主要误差源。采用光栅尺作为母仪，直线式时栅位移传感器空间位置为光栅的测量值，将光栅测量值与直线式时栅位移传感器的预测值进行比较，从而得到动态测量的误差值。对误差值进行数据的截断和采样、异常数据剔除，然后对误差值进行幅值谱和相位谱分析，采用误差分离和谐波修正，研制高精度的直线式时栅位移传感器。

关键词：时栅位移传感器、误差源、动态测量、频谱分析

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：This paper is supported by National Natural Sci-ence Foundation of China 51205434，51405049，51435002

在线出版日期：2015-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79