高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证

摘要：

为了提高精密定位平台的精度和行程,设计了一种新型的气动伺服定位平台.以金属波纹管为独立执行机构,采用有限元法设计了气浮导轨.以气浮导轨支撑,研究无摩擦条件下的较大行程的精密控制.对波纹管的机械特性进行分析,结合实验数据形成的迟滞初载曲线,进行参数辨识,确定基本迟滞算子的阈值和权值,建立了基于PI模型的系统迟滞模型,并对模型进行了验证.结合建立的系统迟滞模型,采用变化速率为0.5V/s和5 V/s的锯齿波进行实验,结果表明:系统的迟滞模型输出很好地逼近了系统输出;开环情况下,实际逼近误差慢速信号输入逼近小于10 μm,快速信号输入逼近小于20 μm,其性能上能够满足高精密定位平台的精度要求.

关键词：高精密定位平台、波纹管、迟滞特性、精度

所属期刊栏目：43

分类号：TP271+.4(自动化技术及设备)

资助基金：流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金项目JZKF-201214

在线出版日期：2015-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67