期刊专题

10.3969/j.issn.1001-3881.2015.05.014

LDS激光打标机的振镜扫描失真分析及矫正

引用
LDS(Laser Direct Structuring)激光打标机的振镜扫描系统存在失真问题,从而造成动态聚焦误差.对激光振镜扫描系统失真问题进行了详细理论分析,建立了该振镜扫描系统的数学模型,讨论了振镜动态聚焦误差来源和误差表现,提出了LDS振镜扫描系统误差矫正方法,通过实验验证了该方法的可行性.

LDS、激光振镜、动态聚焦、误差分析、误差矫正

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TN249(光电子技术、激光技术)

广东省自然科学基金资助项目S2012010009058;深圳市战略新兴产业发展专项资金基础研究项目JCYJ20120613105226998

2015-06-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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机床与液压

1001-3881

44-1259/TH

43

2015,43(5)

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