多微通道式气体静压节流器温度效应的数值仿真

摘要：

气体静压节流器的变形量一般在微纳米级，难以采用实验的方法测得。对自主设计的多微通道式气体静压节流器，利用ANSYS软件对其受温度效应的影响进行研究。采用流固耦合分析方法，对供气温度和环境温度均为20℃，供气压强为（0.2～0.6）MPa，气膜厚度为10μm、20μm、30μm、40μm时节流器的温度分布及变形量进行仿真分析。研究结果表明：供气压强越大，气膜厚度越小，温度效应越明显，节流器内部温度和压强的降低引起的节流器变形越大。而温度变化对节流器的影响要明显强于压强变化对节流器的影响。其中，温降引起的最大变形量为1.0116μm，而压降引起的最大变形量为0.1289μm。

关键词：气体静压节流器、流体仿真、温度效应、温度变形、压降变形

分类号：TH133.3

资助基金：国家自然科学基金资助项目51075378

在线出版日期：2014-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：116-119