超精密研抛机床转摆机构的优化

摘要：

为了实现复杂光学曲面的研抛加工，自行研制了一台转摆联动的五轴超精密研抛机床，并对其关键组成机构---转摆联动装置进行了优化设计。利用ANSYS Workbench软件对摆台的静力学特性进行了分析；同时以滑块位姿变化过程中摆台变形最小为优化目标，对摆台做了结构优化。基于动力学分析方法对气浮转台进行合理简化，利用ABAQUS对转台的转动部分模态分析。结果表明：优化后的机构在满足承重情况下的最大变形量明显减小，能够满足精密研抛加工的要求。

关键词：光学曲面、转摆机构、超精密研抛机床

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：吉林省科技发展计划项目资助20080352，20100370

在线出版日期：2014-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：125-129