基于ANSYS的二维微动平台的性能分析

摘要：

设计了一个具有杠杆放大机械的二维柔性铰链式微动平台,分析其结构非线性和变形非线性对系统特性的影响.采用有限元分析方法,对微动工作台进行了静力学、模态和动态响应分析,得到微定位工作台有效工作的谐振频率和振型以及阶跃响应,验证了所设计平台的静力学性能、工作带宽和动态超调均满足设计要求.

关键词：微动平台、有限元、动态特性、工作带宽

所属期刊栏目：41

分类号：TH702(仪器、仪表)

在线出版日期：2013-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：154-156,162