分子流时高真空阀的流导研究

摘要：

在高真空的条件下,气体以分子流的形式存在而不再满足连续介质的条件.利用蒙特卡洛方法对真空系统中常用的高真空角阀在分子流时的传输概率和流导进行了计算.将蒙特卡罗方法计算结果和理论公式计算结果与样本的参考值进行对比,结果表明:蒙特卡洛方法的计算结果更接近高真空阀流导的样本值,为计算复杂结构高真空元件的流导提供了参考.

关键词：分子流、高真空阀、蒙特卡罗方法、传输概率、流导

所属期刊栏目：41

分类号：TB754+.1(真空技术)

在线出版日期：2013-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38