一种新的大平面平面度测量方法

摘要：

针对大平面度测量,设计一种新的平面度测量系统,该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等,而是以液面作为一个平面基准,用干涉仪标定出测量系统的系统误差,然后用接触式传感器测量被测件,再进行误差分离,将系统误差从测量误差中分离出去,从而达到对大平面度的高精度测量.

关键词：大平面、平面度测量、液面、误差分离

所属期刊栏目：40

分类号：TH161.12

在线出版日期：2013-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24