多线切割机线张力控制技术研究

摘要：

为满足现代基础材料硅片加工的要求,针对多线切割机走线系统的特点,提出一种全自动机线张力控制方法.应用该方法对切割线进行恒张力控制,并对全自动机线张力控制系统进行了仿真.仿真结果表明:该方法能够满足大直径、超薄硅片的加工要求.

关键词：多线切割、机线张力控制、仿真

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.5(半导体技术)

资助基金：北京市教育委员会科技发展计划项目KM2011232004

在线出版日期：2012-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11