超光滑表面非接触定量测量研究

摘要：

通过把光强信息转化为相位信息来分析表面高度与相位之间的关系,利用Wiener滤波消除噪声并恢复信号,从而建立了一种有效的非接触式定量测量模型.采用电信号处理系统提高了测量的效率和精度.

关键词：定量测量、Wiener滤波、电信号处理

所属期刊栏目：40

分类号：TH742(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：85-87