高精度气体微流量计工作用容积的测量

摘要：

作为气体微流量标准的高精度气体微流量计主要用于气体微流量的测量,其中工作用容积值为气体微流量计的主要工作参数之一,因此气体微流量的测量精度也取决于工作用容积值的测量精度.比较称重法及静态膨胀法两种容积测量方法的优缺点,并根据实际情况采用静态膨胀法测量高精度气体流量计工作用容积,得到工作用容积值,并对测量结果进行不确定度的评定.该测量方法具有可原位置测量、操作简单、测量精度高等优点,满足高精度气体微流量计的要求.

关键词：高精度气体微流量计、容积、静态膨胀法、测量不确定度

所属期刊栏目：39

分类号：TB77(真空技术)

在线出版日期：2011-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：85-87