垂直扫描白光干涉测量数据的各种处理算法及其分析

摘要：

为得到被测表面的微观信息,根据垂直扫描白光干涉的特点,以阶高92 μm的微流道为测量对象,测出理论上处在不同高度的3个点的干涉数据,使用改进质心算法、相移干涉法、白光干涉法、白光干涉相移法、包络线拟合法等算法从采集到三组干涉数据中提取出每两点之间的相对高度,并对各种算法提取出的相对高度进行比较和分析.结果证明,相对高度为0的情况下,除包络线拟合法误差较大外,其余各种算法的计算结果都比较理想;相对高度为阶高92 μm时,白光干涉相移法计算精度最高,实用性较强.

关键词：垂直扫描、质心、相移、白光干涉、包络线拟合

所属期刊栏目：38

分类号：TH74;TG84(仪器、仪表)

资助基金：福建省科技计划重点项目2008I0020;福建省自然科学基金计划资助项目T0850004

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32