电子束精整加工的真空系统设计与研究

摘要：

抽真空效率对电子束的整个加工时间起着决定性的作用.在分析系统要求的基础上,设计出真空系统原理图,制定出真空系统的工作流程,并介绍此真空系统的特点.设计出真空系统的控制原理图,制造出真空装置并进行实验.结果表明该系统适用于电子束加工.

关键词：电子束、真空系统、扩散泵

所属期刊栏目：38

分类号：TH122;TB753;TN146

资助基金：国家自然科学基金资助项目50775229;重庆市重点自然科学基金资助项目2008BA3014

在线出版日期：2010-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-2,8