快速响应低耗气双喷嘴真空集成系统的研究

摘要：

针对目前单一喷嘴真空发生器使用过程中由于连续供气导致的耗能大的局限性,提出了一种双喷嘴真空集成系统.研究了低压高灵敏度的膜片检测真空反馈、导阀控制和主阀控制分离的切换控制技术方案,建立了双喷嘴真空集成系统的理论模型并对其基本工作性能进行了试验研究.试验结果表明:与单一喷嘴真空系统相比,所提出的双喷嘴真空集成系统在供给压力为0.45MPa时,响应时间可缩短约27%,空气消耗量可减少约17%,具有快速响应和低耗气的特点.

关键词：真空系统、响应时间、耗气量、集成元件

所属期刊栏目：37

分类号：TB75(真空技术)

在线出版日期：2010-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：80-83