基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究

摘要：

基于MEMS器件的微细加工技术,提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上,用高频振动效应消除钝化,用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料,实现电解复合微细加工,这是微细加工技术的新构想及发展趋势.

关键词：MEMS器件、高频振动、窄脉冲电流、电解复合微细加工

所属期刊栏目：36

分类号：TG669

在线出版日期：2009-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,4