基于计算机显微视觉的微米/亚微米结构的测量

摘要：

针对微纳制造中光刻掩模板检查对线宽、线间距等几何量测量的技术需求,开发了一个基于计算机显微视觉的微小结构几何量的测量系统.该系统采用光学分辨率为606nm的光学成像设备,采用LabVIEW的Vision工具编写的图像测量软件具有多方向轮廓点自动拾取模块、宏微测量策略、自动对焦功能等关键功能.实验与分析结果表明该系统可以实现对微米/亚微米结构的测量.

关键词：计算机显微视觉、图像测量、几何量测量

所属期刊栏目：36

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：广东省自然科学基金B01B6050540

在线出版日期：2008-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：212-215