超精密加工装置的性能分析

摘要：

超光滑表面加工技术是超精密加工体系的一个重要组成部允.介绍了流体二维振动超光滑表面加工新技术、实验装置的组成及加工原理,并对实验装置的频率响应特性、声场的分布等动态性能进行了测试和分析.

关键词：仿真、超光滑表面、超声振动

所属期刊栏目：36

分类号：TG66

资助基金：国家自然科学基金50375029;广东省自然科学基金04009486

在线出版日期：2008-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7