原子力显微镜阳极氧化加工的机理研究

摘要：

介绍了使用原子力显微镜在电场作用下诱导表面局部阳极氧化反应的机理,分析了偏置电压、氧化物厚度对氧化物生长速度的影响,以及湿度和电压对氧化物的尺寸的影响,指出了现阶段AFM纳米加工技术的不足,并对未来的AFM纳米加工技术进行了展望.

关键词：纳米加工、纳米结构、原子力显微镜、阳极氧化

所属期刊栏目：36

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：浙江省自然科学基金 501096

在线出版日期：2008-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-21,40