三维微细电解加工装备的研制与开发

摘要：

设计开发了一台微细电解加工装置.该装置采用龙门固定式结构,具有高精密的压电陶瓷微动工作台,可通过CCD观察整个加工过程;在宏微结合的驱动控制下,可进行各种微细孔、微细轴以及复杂微细结构的高精度微细电解加工.

关键词：微细电解、宏微驱动

所属期刊栏目：35

分类号：TG662

资助基金：广东省广州市科技计划2004Z3-D0051;广东省科技厅科技计划2005B10201016

在线出版日期：2007-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40