激光干涉测量中的误差分析与补偿

摘要：

介绍了双频激光干涉仪的测量原理,从安装和测量等方面深入分析了激光干涉测量所固有的系统误差、阿贝误差及余弦误差、环境误差及延时误差,讨论了各种误差对测量结果的影响,并给出了相应的误差补偿方法.

关键词：激光干涉测量、误差分析、误差补偿

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：181-184