超精密工件台多维激光测量系统研究

摘要：

在分析超精密工件台运动特点的基础上,提出了一种基于多轴双频激光干涉仪的激光测量系统,搭建测量系统平台并建立了测量模型;这种测量系统运用在纳米级定位系统中,可以实现高分辨率低误差的位置测量,为工件台多自由度、大行程、高速高精的纳米级运动控制提供了重要保障.

关键词：超精密、工件台、激光干涉仪

分类号：TP271(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：69-71